В МИЭТе разработали технологию изготовления приборов нитрида галлия на кремниевой подложке диаметром 150 мм | Новости Зеленограда | Окружная электронная газета Зеленограда
Учредитель: Префектура ЗелАО г. Москвы Учредитель: Префектура ЗелАО г. Москвы

В МИЭТе разработали технологию изготовления приборов нитрида галлия на кремниевой подложке диаметром 150 мм


Нитриды галлия постепенно приходят на смену арсениду галлия: они позволяют получать более мощные приборы СВЧ-диапазона, работающие при более высоких температурах.

До сегодняшнего дня в нашей стране создавались приборы нитрида галлия на кремнии диаметром менее 100 мм. Однако, в лаборатории элементной базы наноэлектроники кафедры «Квантовая физика и наноэлектроника» МИЭТ создали технологию, позволяющую работать с пластинами нитрида галлия на кремниевой подложке диаметром 150 мм. Это достижение миэтовских ученых стало прорывным в области технологий по СВЧ-элементной базе и вошло в программу развития Центра компетенций НТИ «Сенсорика», открытого на базе МИЭТ в прошлом году.

ПЕРВЫЕ ПРОБЫ И РЕЗУЛЬТАТ

Физические принципы и формирования приборов нитридной группы были заложены и сформулированы еще нобелевским лауреатом Ж.И. Алферовым в те годы, когда он со своей командой занимался лазерами. Именно на основе его разработок стали изготавливать детали и микросхемы для СВЧ-техники – нитридные гетероструктуры. Однако цена таких микросхем была огромной, потому что материалы подложки (того, на чем они держались) стоили огромных денег. Когда задумались, как их удешевить, решили совместить технологию, которая используется в мире для распространенных кремниевых подложек с диаметром 500 мм, и СВЧ-технологии с диаметром 50 мм (вот она – разница в цене). Трудозатраты при этом оставались теми же. Однако перейти на больший диаметр не позволяло отсутствие отработанных надежных технологий изготовления. Поэтому стали искать возможности изготовить нитрид галлия на кремнии: сначала они были реализованы за рубежом, а потом и у нас.

Первые отечественные приборы были созданы в МИЭТ в 2012-м году на подложках нитрида галлия на кремнии диаметром 50 мм. Сначала они, конечно, были не очень хорошего качества, но принцип изготовления был применен. А в 2017-м МИЭТ вплотную подошел к тому, чтобы изготавливать нитрид галлия на приборы на подложках кремния диаметром 150 мм.

– Мы понимали, что если у нас это получится, мы будем обладать технологиями мирового уровня, – рассказывает ведущий научный сотрудник МИЭТ, заведующий лабораторией «Элементная база наноэлектроники» кафедры «Квантовая физика и наноэлектроника» Владимир Егоркин.

– Фирмы с мировым именем держат в секрете технологии изготовления таких пластин и составы рабочих структур, при том, что бизнес уже давно говорит о мощнейших характеристиках приборов на них

Действительно, за рубежом есть даже такая услуга для компаний: вам проводят выращивание структуры по вашему заданию, при этом вся ответственность за «дизайн» структуры лежит на заказчике. Ведь чтобы понять и смоделировать такую структуру, нужно быть высококвалифицированным специалистом в области физики полупроводниковых приборов. Ученым МИЭТа удалось смоделировать, рассчитать и изготовить СВЧ приборы на пластинах диаметром 150 мм и создать экспериментальные образцы сверхмощных СВЧ-приборов, которые показали отличные характеристики, сравнимые с зарубежными аналогами.

– Овладев этой технологией, мы получили пробивное напряжение в районе 250 вольт! Сравните, у арсенида галлия, который использовался ранее, напряжение равняется 25-ти вольтам, – говорит Владимир Егоркин.

– Такие мощности особенно важны для внедрения в России пятого поколения мобильной связи. Количество подложек для производства СВЧ-приборов для телекоммуникаций можно сократить в два раза! Это, безусловно, существенно отразится на стоимости готовых микросхем.

Сейчас ученые МИЭТ находятся на этапе завершения процесса идеологии создания алгоритмов и выбирают частотные диапазоны для того чтобы запустить производство микросхем на диаметре 150 мм для отечественных СВЧ-приборов нитрида галлия.

Нитрид галлия используется в качестве полупроводникового материала для создания светодиодов, лазеров и сверхвысокочастотных транзисторов.

Подпишитесь на рассылку:

  • RSS подписка
  • email подписка

Другие новости раздела


«Микрон» представил предложения к Стратегии развития электронной промышленности РФ
23.08.2019 16:40

После публичных слушаний документ представят в Правительство России.

В серийной линейке «Микрона» появилась новая RFID-метка
15.08.2019 15:35

RFID-метка Flag-Tag предназначена для маркировки товаров со специфической упаковкой.

Зеленоградцев научат построению интеллект-карт
14.08.2019 14:18

В Коворкинг-центре НКО в Зеленограде пройдет мастер-класс по применению интеллект-карт.

Собянин увеличил размер премий молодым ученым на 33%
13.08.2019 16:00

Премии молодым ученым увеличены до 2 млн руб.

Спешите увидеть: «Микрон» на фотовыставке «Микроэлектроника и особая экономическая зона»
05.08.2019 16:53

«Микрон» представляет авторскую серию уникальных кадров с производства.

Чипы для российских электронных паспортов будут делать в Зеленограде
02.08.2019 10:52

Выдача электронных паспортов в Москве начнется уже в следующем году.

Зеленоградская компания-разработчик терминалов оплаты прошла повторную сертификацию
01.08.2019 14:06

ГК «Терминальные Технологии» подтвердила соответствие своего оборудования требованиям компании-оператора платежной системы «Мир».

В НИУ МИЭТ создают необычную систему email-маркетинга
31.07.2019 15:04

Новая разработка поможет компаниям обходиться без штатных маркетологов и серверных мощностей.

Радиочастотные метки «Микрона» успешно прошли испытания в условиях чрезвычайных ситуаций
22.07.2019 09:58

Разработчик средств защиты, спасения и пожаротушения протестировал RFID-систему ПАО «Микрон» для автоматизированного контроля эвакуации людей.

«Микрон» – в спецпоезде «Москва промышленная»
19.07.2019 11:26

«Микрон» представляет отрасль микро- и наноэлектроники в тематическом поезде «Москва промышленная».

В Зеленограде появится фармацевтическое производство с лабораторией
18.07.2019 12:11

Производственно-складской комплекс с научно-исследовательской лабораторией возводится на площадке «Алабушево» ОЭЗ «Технополис «Москва».

Зеленоградская компания «Терминальные Технологии» представила свою разработку на форуме SmartTRANSPORT 2019
10.07.2019 13:14

Валидатор Vendotek был продемонстрирован на стенде компании MasterCard.

«Микрон» представит свои изделия на выставке «Иннопром-2019»
04.07.2019 16:17

Продукция зеленоградского предприятия будет представлена в рамках коллективного стенда столичных производителей.

Ученые МИЭТа получили грант Российского научного фонда
04.07.2019 11:29

Фонд поддержал проект коллектива ученых Института перспективных материалов и технологий НИУ МИЭТ.

Зеленоградская компания представила новую версию робота Пушкина
19.06.2019 16:41

Компания «Нейроботикс» представила новую версию антропоморфного робота «Пушкин», который умеет распознавать собеседника, отвечать на его эмоции и поддерживать беседу.

Зеленоградские ученые разработали новое средство против депрессии
19.06.2019 15:40

Компания «Нейроботикс» разработала метод безрецептурного лечения депрессии, усовершенствовав модель и методику неинвазивного интерфейса «мозг-компьютер».

В «Микроне» провели экскурсию для детей
18.06.2019 17:33

Дети, посещающие летний городской лагерь в ГБУ ТЦСО Зеленоградский филиал Крюково получили уникальную возможность совершить визит на завод «Микрон». 

В Зеленограде появится новый инновационный центр
17.06.2019 12:25

Его создание нацелено на решение одной из важнейших проблем современного мира – снижение потребления электроэнергии.

«Ангстрем-Т» представил образцы своей продукции на Петербургском международном экономическом форуме
14.06.2019 12:43

Экспозиция привлекла внимание не только рядовых участников форума, но и руководителей государственных институтов.

Новинка в линейке IoT-устройств «Микрона»: умный контроль отходов для ЖКХ и торговли
11.06.2019 15:51

Устройство ММК-01 для контроля наполненности мусорных контейнеров позволяет удаленно отслеживать уровень отходов в тарах и оптимизировать логистику их вывоза.

Гендиректор зеленоградской компании стал «Экспортером года»
11.06.2019 11:09

Победителем в номинации «Экспортер года» стал генеральный директор зеленоградской компании «СМП» Герман Муравьев.

ТУСУР и МИЭТ открыли региональный центр НТИ «Сенсорика» в Томске
30.05.2019 17:07

Центр будет заниматься разработками оптоэлектронных устройств, созданием датчиков и сенсорами.

«Микрон» приглашает на демо-день образовательной программы «Микроэлектроника. 157 уровень»
23.05.2019 14:38

Студенческие проектные команды из пяти российских вузов (ДВФУ, МИЭТ, ТГУ, ТПУ, АГУ) представят результаты своих исследований и проектов.

МИЭТ провел конференцию совместно с японской компанией
20.05.2019 16:30

Мероприятие было посвящено последним разработкам в области технологии «Minamal FAB».

В МИЭТе разработали технологию изготовления приборов нитрида галлия на кремниевой подложке диаметром 150 мм
14.05.2019 16:45

Достижение миэтовских ученых стало прорывным в области технологий по СВЧ-элементной базе.

Руководитель компании «Нейроботикс» принял участие в робототехническом форуме на базе Сколково
13.05.2019 10:42

Темой выступления В. Конышева стало применение искусственного интеллекта и нейротехнологий в сфере реабилитации и ассистивной аппаратуры.

«Микрон» представил 26 новинок на выставке «ЭкспоЭлектроника»
25.04.2019 11:56

Зеленоградское предприятие презентовало уникальные разработки для интернета вещей, цифровизации экономики и бизнеса, автоэлектроники и критической инфраструктуры.

Директор зеленоградской компании «Нейроботикс» принял участие в Skolkovo Robotics
24.04.2019 09:21

Владимир Конышев выступил на тему «Шаг № 1 к киборгам – использование ИИ и нейротехнологий в ассистивных и реабилитационных комплексах проекта АНТ Нейронет НТИ».

«Микрон» – номинант премии «IoT Awards 2019»
23.04.2019 12:54

Зеленоградское предприятие номинировано на звание лауреата премии «IoT Awards 2019» в номинации «Российская IoT-компания года».

Игорь Сухоставский: В части развития банковских технологий мы впереди планеты всей
19.04.2019 18:47

Генеральный директор фирмы «Терминальные Технологии» рассказал о разработках компании.


Фото & ВидеоВСЕ »

Новости Москвы